近年來(lái)，隨著JIT(Just In Time)、BTO（面向訂單生產(chǎn)）等新型生產(chǎn)模式的提出，以及客戶、市場(chǎng)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量提出更高要求，MES被重新發(fā)現(xiàn)并得到重視。同時(shí)企業(yè)開(kāi)始認(rèn)識(shí)到要從基礎(chǔ)的生產(chǎn)管理上提升競(jìng)爭(zhēng)力，即只有將數(shù)據(jù)信息從產(chǎn)品級(jí)（基礎(chǔ)自動(dòng)化級(jí)）取出，穿過(guò)操作控制級(jí)，送達(dá)管理級(jí)，通過(guò)連續(xù)信息流來(lái)實(shí)現(xiàn)企業(yè)信息集成才能使企業(yè)在日益激烈的競(jìng)爭(zhēng)中立于不敗之地。制造執(zhí)行系統(tǒng)（MES）旨在提升企業(yè)執(zhí)行能力，具有不可替代的功能，競(jìng)爭(zhēng)環(huán)境下的流程行業(yè)企業(yè)應(yīng)分清不同制造管理系統(tǒng)的目標(biāo)和作用，明確MES在集成系統(tǒng)中的定位，重視信息的準(zhǔn)確及時(shí)、規(guī)范流程、利用工具、管理創(chuàng)新，根據(jù)MES成熟度模型對(duì)自身的執(zhí)行能力進(jìn)行分析，按照信息集成、事務(wù)處理、制造智能三階段循序漸進(jìn)地實(shí)施MES系統(tǒng)，才能充分發(fā)揮企業(yè)信息化的作用，提高企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力，為企業(yè)帶來(lái)預(yù)期效益。
一、添加通過(guò)SECS/GEM協(xié)議通信的要求：
1、機(jī)臺(tái)端要支持國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)制定的SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)；
2、如果機(jī)臺(tái)不支持網(wǎng)線連接（TCP/IP），則需要提供相應(yīng)的中轉(zhuǎn)設(shè)備實(shí)現(xiàn)聯(lián)網(wǎng)功能（可聯(lián)網(wǎng)的PLC、操作電腦等）；
3、機(jī)臺(tái)端要開(kāi)放符合SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)（包括E4、E5、E30、E37）所需要使用到的所有接口及個(gè)性化定義的API文檔（針對(duì)于不同設(shè)備型號(hào)的數(shù)據(jù)傳輸控制中的命令定義），通過(guò)賣方提供的通訊協(xié)議&接口，用戶可實(shí)現(xiàn)自有服務(wù)器到機(jī)臺(tái)端數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)監(jiān)控和機(jī)臺(tái)操作界面中所有功能的遠(yuǎn)程執(zhí)行；
二、基本功能
設(shè)備軟件主要功能 功能描述及驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
信息追溯 設(shè)備帶有RFID和二維碼及條碼讀取功能，用于讀取每盤加工晶片的ID,讀取的數(shù)據(jù)生成文檔存儲(chǔ)至服務(wù)器，方便系統(tǒng)的調(diào)用。
自動(dòng)化 1)可實(shí)現(xiàn)Autorecipe和自動(dòng)進(jìn)出站功能；
2)自動(dòng)化流程滿足用戶需要；
3)設(shè)備滿足SECS/GEM協(xié)議通信的要求，具體見(jiàn)第2項(xiàng)。
數(shù)據(jù)記錄及數(shù)據(jù)上傳 1)生產(chǎn)總量數(shù)據(jù)記錄；
2)生產(chǎn)效率數(shù)據(jù)記錄
3)系統(tǒng)狀態(tài)顯示
4)運(yùn)行時(shí)間記錄
5)故障時(shí)間記錄
6)待料時(shí)間記錄
7)耗材壽命及更換記錄
8）軟體recipe更改記錄
9）作業(yè)異常信息記錄
10)彈性化設(shè)計(jì)：軟件規(guī)格程序可依需求修改
三、軟件要求
● 自動(dòng)模式
1. 更換至各種模式之選擇鍵
2. 顯示各槽工作狀態(tài) (如: 待機(jī)中或工作中)
3. 顯示制程槽目前之配方編號(hào)；顯示制程槽之制程總時(shí)間，剩馀時(shí)間(遞減) 及已工作之時(shí)間(遞增)
4. 顯示年, 月, 日, 時(shí)，分，秒時(shí)間訊息
5. 顯示目前操作人員之等級(jí)
6. 藥液壽命監(jiān)控（時(shí)間，片數(shù)，次數(shù)）
● 手動(dòng)模式
1. 更換至各種模式之選擇鍵
2. 顯示各制程槽感測(cè)器狀態(tài) (如: 液位信息)
3. 各閥件及其他被動(dòng)元件操作
4. 超聲波，加熱器，晃動(dòng)裝置手動(dòng)操作
5. Robot 原點(diǎn)找尋操作
6. Robot 各槽位及個(gè)上下點(diǎn)移動(dòng)單動(dòng)操作
7. Robot 教導(dǎo)模式操作
● 警報(bào)模式
1. 更換至各種模式之選擇鍵。
2. 實(shí)時(shí)報(bào)警（實(shí)時(shí)報(bào)警主要顯示設(shè)備當(dāng)前還存在的報(bào)警；并顯示發(fā)生的時(shí)間）
3. 歷史報(bào)警（歷史報(bào)警主要顯示設(shè)備曾經(jīng)發(fā)生的報(bào)警；并顯示記錄發(fā)生的時(shí)間，確認(rèn)時(shí)間，復(fù)位時(shí)間，報(bào)警解除時(shí)間。便于設(shè)備人員查找問(wèn)題）
4. 顯示發(fā)生中之警報(bào)信息。(警報(bào)解除后，按操作面板上復(fù)位鍵解除警報(bào)信息。
3. 畫面右下角"歷史記錄"，進(jìn)入之前警報(bào)訊息、時(shí)間等記錄。以利追溯警報(bào)狀況
● 參數(shù)設(shè)定
1. 設(shè)定設(shè)備調(diào)試所需之各項(xiàng)參數(shù)。
2. 設(shè)定酸液使用時(shí)間、次數(shù)，片數(shù)等各項(xiàng)參數(shù)。
3. 設(shè)定定量補(bǔ)酸模式：依每個(gè)Run 或時(shí)間。
4. 操作等級(jí)密碼設(shè)定 (高等級(jí)才可設(shè)定此功能)
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